LITHOGRAPHIE

Série NXQ8000 - Plateforme de production évolutive et à haut volume

NXQ8000 Series – Scalable, high volume production platform

L’aligneur de masques de production NXQ8000 intègre les dernières nouveautés en matière d’automatisation robotique avec une conception de pointe de nouvelle génération de Milara, Inc.

Le robot à double bras permet de transférer les plaquettes à la vitesse de l’éclair avec une précision deux fois supérieure à celle des concurrents et intègre un pré-aligneur de Logosol capable de détecter les substrats transparents, ce qui le rend idéal non seulement pour le silicium, mais aussi pour une large gamme de matériaux semi-conducteurs composés. Il s’agit d’une combinaison WTS qui est de loin la meilleure du secteur.

La platine d’alignement NXQ8000 utilise la dernière technologie en matière de mouvement linéaire. Grâce aux boucles de retour des encodeurs qui mesurent la position réelle de la scène (et non la position du moteur), le système de vision n’est pas limité par le matériel, ce qui permet d’obtenir des précisions d’alignement inférieures à 0,5 um 3 sigma. Cette précision est obtenue grâce à notre microscope Quadcam doté d’objectifs 5x, offrant une combinaison idéale de grossissement, de champ de vision et de profondeur de champ.

L’aligneur de masque de la série NXQ8000 est idéal pour les applications de microélectronique, LED / HB LED, 3D IC, SIOP, WLP, 2.5D Interposer, MEMS, BioMEMS, MicroFluidics, Compound Semi, Solar (HCPV), et Optoélectronique.

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