LITHOGRAPHIE

Système de photolithographie roll to roll NXQ 9000 à grand volume

NXQ9000 Series – Affordable large area photolithography system

La série NXQ9000 est le premier pas à pas de proximité 1x du marché pour les expositions plein champ ou par étapes et répétitions. Disponible en format de rouleau à rouleau ou de substrat de grande surface.

  • Exposition par étapes et répétitions pour contrôler les effets de faux-rond et les variations de CD possibles avec les alignements à grand champ 1x Full field.

  • Prise en charge des modes d’impression par contact et par proximité, sélectionnables par l’utilisateur.

  • Manipulation de rouleaux ou de substrats entiers jusqu’à 320 mm de côté ; des substrats plus grands sont disponibles.

La NXQ9000 est bien adaptée aux applications de bobine à bobine à grand volume pour les matériaux flexibles ou au chargement manuel/automatique de panneaux ou de substrats de grande surface. Grâce à la possibilité d’effectuer des expositions en plein champ jusqu’à 320 mm de côté, ou d’aligner et d’exposer des quadrants par étapes et répétitions en sélectionnant une recette, l’utilisateur peut optimiser les modes d’impression pour des exigences de processus spécifiques. Le système peut être configuré pour des rouleaux, des panneaux ou des substrats de plus grande surface ; veuillez nous contacter pour en discuter.
Mode pas à pas et répétitif pour le contrôle de la sortie et des variations de CD possibles avec les aligneurs 1x de grande surface et les systèmes 1x de projection plein champ, ou utilisation d’expositions plein champ pour augmenter le T-put pour des caractéristiques de plus grande taille.

Le NXQ9000 comble un vide sur le marché en proposant un système de photolithographie de grande surface abordable pour des tailles de traits de 2 um et plus. De nombreux systèmes de photolithographie de grande surface sont basés sur une technologie de projection coûteuse et ne répondent pas aux critères de retour sur investissement de nombreux marchés émergents qui exigent un faible coût de possession pour rendre la technologie financièrement viable. Le prix du NXQ9000 est de 50 à 80% inférieur à celui des systèmes de projection plein champ 1x et des steppers 1x ou de réduction sur le marché.

Les marchés cibles comprennent l’emballage au niveau de la tranche, l’interposition, les capteurs, l’affichage, la sécurité des produits / l’anti-contrefaçon, la RFID, l’énergie solaire, l’électronique médicale et l’électronique portable. Nous sommes heureux de pouvoir discuter de vos applications et d’apprendre comment nous pouvons vous aider en vous proposant une solution supérieure et rentable.

  • Ensemble de volets de terrain pour la recette : 100mm x 100mm jusqu'à 320mm x 320mm
  • Résolution d'impression :
    • ≥3μm à 20μm d'écart.
    • ≥2μm en contact doux
  • Débit avec Reel to Reel (basé sur une exposition de 1 seconde)
    • Mode 1er masque : 180 substrats par heure
    • Alignement et exposition en plein champ : (140) substrats par heure
    • Alignement et exposition à quatre coups : (80) substrats par heure
    • Alignement et exposition à neuf coups : (35) substrats par heure
  • Superposition : ± 1,5μm 3 Sigma

Littérature sur les produits

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