PRODUITS
Produits pour l'alignement des masques
Les alignements de masques NxQ sont conçus pour être utilisés à la fois en R&D et en production. Avec une gamme de prix et de fonctionnalités pour répondre à tous les besoins, les systèmes d’alignement de masques de NxQ fourniront une solution performante et optimisée en termes de coûts pour tous les besoins. Toutes les plates-formes sont maintenant disponibles avec une source d’exposition UV-LED révolutionnaire qui a des performances supérieures à celles des ampoules au mercure et qui durera de 7 à 10 ans dans un environnement HVM !
Nos produits sont fièrement fabriqués aux États-Unis, ce qui rend notre assistance et notre service inégalés.
Série NXQ9000
La série NXQ9000 est le premier pas à pas de proximité 1x du marché pour des expositions plein champ ou par étapes et répétitions. Disponible en format de rouleau à rouleau ou de substrat de grande surface. Les caractéristiques comprennent :
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Exposition par étapes et répétitions pour contrôler les effets de faux-rond et les variations de CD possibles avec les alignements à grande surface 1x plein champ
Prise en charge des modes d’impression par contact et par proximité, sélectionnables par l’utilisateur.
Manipulation de rouleaux ou de substrats entiers jusqu’à 320 mm de côté ; des substrats plus grands sont disponibles.
Série NXQ8000
La série NXQ8000 offre une plateforme de production évolutive et à haut volume. Les caractéristiques comprennent :
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Conception modulaire à “architecture ouverte” avec fonctions d’alignement et d’exposition de précision.
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Prise en charge des modes d’impression sous vide, par contact et par proximité
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Manipulation de substrats partiels ou entiers jusqu’à 200 mm (8″) de diamètre
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Possibilité de passer de R&D à HVM en ajoutant une mise à niveau du robot.
Série NXQ8012
Notre aligneur de masque de 300 mm est maintenant disponible à la vente – Voir le NXQ8012.
- Conception modulaire à “architecture ouverte” avec fonctions d’alignement et d’exposition de précision.
- Prise en charge des modes d’impression sous vide, par contact et par proximité
- Manipulation de substrats partiels et entiers jusqu’à 400 mm de diamètre
- Possibilité de passer de R&D à HVM en ajoutant une mise à niveau du robot.
Série NXQ4000
La série NXQ4000 est un produit rentable conçu pour la R&D, les universités et la production en ligne pilote. Les caractéristiques comprennent :
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Interface facile à utiliser avec chargement simple du masque par le haut.
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Prise en charge de l’impression par contact à pression douce/dure et par contact sous vide
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Manipulation de substrats partiels ou entiers jusqu’à 200 mm (8″) de diamètre
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Alignement de la face arrière en option et lithographie par nano-impression UV
Série NXQ200
Le système d’exposition UV-LED NXQ200 est conçu pour remplacer les sources de lumière conventionnelles au mercure. sources lumineuses fonctionnant soit en large bande soit à la ligne i (365nm).