Morgan Hill, Californie. – NXQ, l’un des principaux fournisseurs d’équipements de photolithographie de production, a annoncé aujourd’hui la livraison de son nouveau système d’alignement de masque 300 mm.
Le NXQ8012 est un ajout important à la gamme de produits d’alignement de masques de Neutronix Quintel, leader de l’industrie, et utilise la dernière technologie de mouvement linéaire combinée à une automatisation robotique intégrée de pointe et à une conception d’étage d’alignement. Le NXQ8012 offre une gamme impressionnante de fonctionnalités, notamment :
Un système complet d’alignement de précision: Grâce aux boucles de retour des encodeurs mesurant la position réelle de la scène (et non la position du moteur), le système de vision n’est pas limité par le matériel, ce qui permet d’obtenir des précisions d’alignement inférieures à 0,5 µm 3 sigma.
Backside Alignment (BSA) pour la réalisation de motifs sur la face arrière des plaquettes : Le système BSA a des capacités optiques et infrarouges intégrées dans la même unité, ce qui permet d’utiliser le système non seulement comme un système de photolithographie, mais aussi comme un microscope IR pour la vérification de la superposition avant-arrière.
Disponible en deux configurations pour une flexibilité maximale : Le NXQ8012 offre le choix d’un système de chargement manuel à faible encombrement, conçu pour la R&D et les lignes pilotes, qui est 55 % plus petit que son principal concurrent et est disponible avec un système de chargement FOUP unique en option. Le système de chargement manuel NXQ8012 permet d’utiliser des substrats partiels et entiers de plusieurs tailles jusqu’à 12″ sur une seule machine, créant ainsi une flexibilité de configuration inégalée pour de multiples projets. Pour la production en série, la NXQ8012 est disponible en version entièrement automatisée, configurée pour le FOUP 200mm/300mm. La version automatisée de l’aligneur de masques de la série NXQ8012 intègre un EFEM de Milara Corp. qui permet de transférer les tranches de silicium à la vitesse de l’éclair avec une précision de positionnement deux fois supérieure à celle des concurrents.
Disponibilité du produit :
Le NXQ8012 est disponible dès aujourd’hui en quantités de production. Veuillez consulter le site www.neutronixinc.com pour plus d’informations.
À propos de NXQ
NXQ fabrique des équipements de photolithographie et de métrologie pour des clients qui développent et fabriquent une large gamme de produits semi-conducteurs, notamment les MEMS, le Wafer Level Packaging (WLP), le 3DIC, le System in Package (SIP), le Compound Semiconductor (CS), la microfluidique, l’optoélectronique et les technologies des sciences biologiques. NXQ a été fondée par des vétérans de l’industrie et conçoit et fabrique des mask aligners depuis plus de 35 ans.
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Pour plus d’informations, veuillez contacter :
Lenore Arnold
Neutronix Quintel
(408) 776-5190
sales@neutronixinc.com
