L’annonce met en évidence la vente de l’outil NXQ8000CT Cluster Tool à un grand entrepreneur de la défense pour le traitement complet des substrats.
Morgan Hill, Californie (23 octobre 2020) – Neutronix-Quintel, Inc. (NXQ), l’un des principaux fournisseurs d’équipements de photolithographie de production, a annoncé aujourd’hui la vente de l’outil Cluster NXQ8000CT à un important entrepreneur de défense nationale. L’outil a été installé sur le site du client il y a six mois et a été approuvé pour la fabrication à haut volume (HVM) dans les deux semaines suivant son installation.
Selon Brett Arnold, président de NXQ, « NXQ a continué à repousser les limites en termes de conception et de fabrication d’alignements de masques de pointe, et a fait un grand pas en avant en combinant ce produit avec d’autres modules critiques dans l’outil NXQ8000CT Cluster, adapté au HVM de composants de défense avancés. Le NXQ8000CT associe l’aligneur de masques NXQ8008 à notre nouveau système d’exposition par immersion NXQ200 et à des modules de revêtement et de développement spécialement conçus. Le NXQ8008 et le NXQ200 sont tous deux configurés avec la source lumineuse UV-LED exclusive de NXQ pour une performance lithographique maximale et une durée de vie exceptionnellement longue. Le NXQ8000CT est disponible dans le commerce pour tous les clients qui recherchent un traitement lithographique de bout en bout. »
Au cœur de l’outil Cluster NXQ8000CT se trouve l’aligneur de masques NXQ8008, de renommée mondiale, avec système d’inspection de recouvrement avant-arrière, intégré à l’automatisation robotique de pointe et à la conception de l’étage d’alignement. Le NXQ8008 et le NXQ200 sont tous deux équipés de sources d’exposition UV-LED révolutionnaires dont les performances d’impression et d’exposition sont bien supérieures à celles des sources à lampe à mercure et qui durent de 7 à 10 ans dans un environnement HVM. La platine d’alignement NXQ8008 utilise la dernière technologie en matière de mouvement linéaire. Grâce aux boucles de retour des encodeurs qui mesurent la position réelle de la scène et non la position du moteur, le système de vision n’est pas limité par le matériel, ce qui permet d’obtenir des précisions d’alignement inférieures à 0,5 um 3 sigma. Cette précision est obtenue grâce à notre microscope Quadcam doté d’objectifs 5x, offrant une combinaison idéale de grossissement, de champ de vision et de profondeur de champ.
À propos de NXQ
NXQ fabrique des équipements de photolithographie et de métrologie pour des clients qui développent et fabriquent une large gamme de produits semi-conducteurs, notamment les MEMS, le Wafer Level Packaging (WLP), le 3DIC, le System in Package (SIP), le Compound Semiconductor (CS), la microfluidique, l’optoélectronique et les technologies des sciences biologiques. NXQ a été fondée par des vétérans de l’industrie et conçoit et fabrique des mask aligners depuis plus de 35 ans.
Plus d’informations :
Pour plus d’informations sur NXQ et sa gamme complète de produits, veuillez visiter le site www.neutronixinc.com ou contactez directement Neutronix Quintel à l’adresse sales@nxqinc.com.
Pour plus d’informations, veuillez contacter :
Lenore Arnold
Neutronix Quintel
(408) 776-5190
sales@nxqinc.com
